文字大?。? [ 大 中 小 ] 浏览次数(shù):
信息索引号(hào) | 014006438/2024-05144 | 生成日期 | 2024-09-11 | 公开日期 | 2024-09-11 |
文件编号(hào) | — — | 发(fā)布机(jī)构(gòu) | 无锡市发(fā)展和改革委员会(huì) | ||
效力状况 | 有效 | 附件下载 | — — | ||
内(nèi)容概述 | 项(xiàng)目名称:无锡邑文电子上市总部基地项(xiàng)目单位:无锡邑文微电子科技股份有限公司建设(shè)内(nèi)容及规(guī)模:占地约59亩,购(gòu)置氦气检漏仪、PUMP、ICP刻蚀机(jī)-金属刻蚀、多腔ALD、PVD设(shè)备等各类设(shè)备 |
项(xiàng)目名称:无锡邑文电子上市总部基地
项(xiàng)目单位:无锡邑文微电子科技股份有限公司
建设(shè)内(nèi)容及规(guī)模:占地约59亩,购(gòu)置氦气检漏仪、PUMP、ICP刻蚀机(jī)-金属刻蚀、多腔ALD、PVD设(shè)备等各类设(shè)备,年产(chǎn)去胶机(jī)、ICP刻蚀机(jī)、UV固胶机(jī)、化学(xué)气象沉积等各种半导(dǎo)体设(shè)备460臺(tái)套
建设(shè)起止年限:2024-2026年
计(jì)划总投资:55153万元
2024年计(jì)划投资:10000万元
来源:无锡市发(fā)展和改革委员会(huì)